DC / RF POWER
產品
各式電漿電源供應器、射頻電漿電源產生器、直流電漿電源產生器、功率匹配器、製程氣體產生器、微波電漿產生器等
- DC/RF POWER
AE：Advance Energy Industries
ENI：MKS Instruments,Inc.
Huttinger：HUETTINGER Electronic
- RF Generator:
RFG series、RFX series、RFPP RF series、RFPP LF series、Aspect series、Cesar series 、HFV series、RPS
- DCPower Supply :
MDX series、MDX-L series、Sparc series、Starburst、Pinnacle series、Pinnacle II series、Pinnacle Plus series、E-Chuck power
- Matching Network :
特點
電源供應器應用
- 真空鍍膜
- 電漿清洗機
- Plasma
- Sputter
